

利用甲酸(HCOOH)替代标准助焊剂,消除了 Pre-reflow 涂覆助焊剂和 Post-reflow 焊后清洁步骤的需要,通常应用于功率器件和倒装芯片(Flip Chip)应用。支持真空功能的 VFAR 机型进一步将空洞率降低至 1% 以下,实现无焊剂、无空洞的高可靠性焊接。甲酸回流炉的操作方式类似于普通回流炉,只是在关键的加热区(通常是 Soaking 保温区)注入甲酸蒸汽。在这里,甲酸在回流之前去除了金属表面的氧化物。通过甲酸气泡生成系统维持甲酸水平,并实时监测。任何回流曲线(例如 Tent 帐篷型或 Soak 保温型曲线)都可以与甲酸一起使用,并可提供与热回流温曲线相结合的可调节甲酸浓度曲线,集成实时甲酸浓度和 O₂ 监测系统,配备甲酸安全系统(传感器/检测器)以及用于绿色工艺解决方案的甲酸去除系统。
HELLER 甲酸(无焊剂)回流炉HELLER VFAR 是一款具有真空功能的水平无助焊剂甲酸回流炉,结合了真空回流和无助焊剂回流的所有优点,以实现较低的空洞率和较高的产品质量。设备符合所有 SEMI S2/S8 安全标准(包括涉及危险气体的标准)。甲酸工艺在回流之前有效消除金属表面氧化物,所有与助焊剂残留物相关的缺陷(包括空洞)都被消除,省去助焊剂残留和清洁步骤,节省工厂空间和运营成本。在 IGBT 和预制焊片应用中,空洞率检测结果可低至 0.7%、0.6%、0.3%、0.2% 等级。
HELLER 的新型专利 Formic Gate 系统能够将工艺气体消耗率显著降低达 45%。Formic Gate 系统是在回流炉的入口和出口处设置的双重门:生产过程中,只有一个门会在产品进入或离开机器时打开,将工艺腔室与外界隔离,降低氮气和甲酸消耗。炉体结构依次为入口(出口)气闸、预热区、甲酸区、回流区与冷却区,入口气闸将炉内部与环境隔离开来;甲酸被注入保温区去除氧化层,温度被加热至焊料熔点以上完成回流。真空甲酸机型还配备 3 区红外加热(峰值 450℃)与 5 步真空控制系统,实现高效回流和无瑕斑结果。
| 参数 | 1809MK7-FAR | 1936MK7-FAR | 2043MK7-FAR |
|---|---|---|---|
| 长度(mm) | 5,250 | 6,450 | 7,350 |
| 宽度(mm) | 2,160 | 2,160 | 2,160 |
| 高度(mm) | 1,600 | 1,600 | 1,600 |
| 重量(kg) | 3,500 | 4,000 | 4,500 |
| 电源输入 | 208/240/380/400/415/440/480 VAC(50Hz/60Hz) | ||
| 最大电流 | 200Amp @ 208-240V;150Amp @ 380-480V | ||
| 持续功率(kW) | 7-14 | 9-15 | 13-20 |
| 冷却水供应压力(bar) | 3-4;流量 11-15 LPM | ||
| 氮气供应压力(bar) | 6-8;工作压力 7 bar | ||
| 典型氧气浓度(PPM) | 20-30 | ||
| 典型氮气消耗(SLPM) | 300-400 | ||
| 甲酸浓度 | ≤12% | ||
| 典型甲酸消耗(LPH) | 0.5-1 | ||
| 加热区 | 9 | 10 | 13 |
| 加热长度(mm) | 2,600 | 3,600 | 4,300 |
| 冷却区 | 2 | 3 | 3 |
| 冷却长度(mm) | 1,000 | 1,300 | 1,300 |
| 最高温度(℃) | 350 | ||
| 温度控制精度(℃) | ±0.1 | ||
| 炉温切换时间(min) | 5-15 | ||
| 单轨道/网带(mm) | 100-450 | ||
| 双轨道-单轨模式(mm) | 100-240 | ||
| 双轨道-双轨模式(mm) | 100-170 | ||
| 最小 PCB 长度(mm) | 150,可选 120 | ||
| PCB 方向 | L to R,R to L | ||
| 真空腔加热 | 3 区红外(IR)加热,峰值 450℃,5 步真空控制 | ||
* 特殊选项可根据要求提供;回流炉重量会根据实际炉的配置而有所不同;规格可能因产品改进或技术更新而与实际产品有所不同,请联系我们获取最新信息。
利用甲酸(HCOOH)替代标准助焊剂,消除了 Pre-reflow 涂覆助焊剂和 Post-reflow 焊后清洁步骤的需要,通常应用于功率器件和倒装芯片(Flip Chip)应用。支持真空功能的 VFAR 机型进一步将空洞率降低至 1% 以下,实现无焊剂、无空洞的高可靠性焊接。甲酸回流炉的操作方式类似于普通回流炉,只是在关键的加热区(通常是 Soaking 保温区)注入甲酸蒸汽。在这里,甲酸在回流之前去除了金属表面的氧化物。通过甲酸气泡生成系统维持甲酸水平,并实时监测。任何回流曲线(例如 Tent 帐篷型或 Soak 保温型曲线)都可以与甲酸一起使用,并可提供与热回流温曲线相结合的可调节甲酸浓度曲线,集成实时甲酸浓度和 O₂ 监测系统,配备甲酸安全系统(传感器/检测器)以及用于绿色工艺解决方案的甲酸去除系统。
HELLER 甲酸(无焊剂)回流炉HELLER VFAR 是一款具有真空功能的水平无助焊剂甲酸回流炉,结合了真空回流和无助焊剂回流的所有优点,以实现较低的空洞率和较高的产品质量。设备符合所有 SEMI S2/S8 安全标准(包括涉及危险气体的标准)。甲酸工艺在回流之前有效消除金属表面氧化物,所有与助焊剂残留物相关的缺陷(包括空洞)都被消除,省去助焊剂残留和清洁步骤,节省工厂空间和运营成本。在 IGBT 和预制焊片应用中,空洞率检测结果可低至 0.7%、0.6%、0.3%、0.2% 等级。
HELLER 的新型专利 Formic Gate 系统能够将工艺气体消耗率显著降低达 45%。Formic Gate 系统是在回流炉的入口和出口处设置的双重门:生产过程中,只有一个门会在产品进入或离开机器时打开,将工艺腔室与外界隔离,降低氮气和甲酸消耗。炉体结构依次为入口(出口)气闸、预热区、甲酸区、回流区与冷却区,入口气闸将炉内部与环境隔离开来;甲酸被注入保温区去除氧化层,温度被加热至焊料熔点以上完成回流。真空甲酸机型还配备 3 区红外加热(峰值 450℃)与 5 步真空控制系统,实现高效回流和无瑕斑结果。
| 参数 | 1809MK7-FAR | 1936MK7-FAR | 2043MK7-FAR |
|---|---|---|---|
| 长度(mm) | 5,250 | 6,450 | 7,350 |
| 宽度(mm) | 2,160 | 2,160 | 2,160 |
| 高度(mm) | 1,600 | 1,600 | 1,600 |
| 重量(kg) | 3,500 | 4,000 | 4,500 |
| 电源输入 | 208/240/380/400/415/440/480 VAC(50Hz/60Hz) | ||
| 最大电流 | 200Amp @ 208-240V;150Amp @ 380-480V | ||
| 持续功率(kW) | 7-14 | 9-15 | 13-20 |
| 冷却水供应压力(bar) | 3-4;流量 11-15 LPM | ||
| 氮气供应压力(bar) | 6-8;工作压力 7 bar | ||
| 典型氧气浓度(PPM) | 20-30 | ||
| 典型氮气消耗(SLPM) | 300-400 | ||
| 甲酸浓度 | ≤12% | ||
| 典型甲酸消耗(LPH) | 0.5-1 | ||
| 加热区 | 9 | 10 | 13 |
| 加热长度(mm) | 2,600 | 3,600 | 4,300 |
| 冷却区 | 2 | 3 | 3 |
| 冷却长度(mm) | 1,000 | 1,300 | 1,300 |
| 最高温度(℃) | 350 | ||
| 温度控制精度(℃) | ±0.1 | ||
| 炉温切换时间(min) | 5-15 | ||
| 单轨道/网带(mm) | 100-450 | ||
| 双轨道-单轨模式(mm) | 100-240 | ||
| 双轨道-双轨模式(mm) | 100-170 | ||
| 最小 PCB 长度(mm) | 150,可选 120 | ||
| PCB 方向 | L to R,R to L | ||
| 真空腔加热 | 3 区红外(IR)加热,峰值 450℃,5 步真空控制 | ||
* 特殊选项可根据要求提供;回流炉重量会根据实际炉的配置而有所不同;规格可能因产品改进或技术更新而与实际产品有所不同,请联系我们获取最新信息。
