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甲酸回流炉
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SIPLACE TX 配备全新 CP20 贴装头以及全新的 SIPLACE Xi 智能供料器,再一次刷新了其性能表现。有了新的 SIPLACE 托盘单元和两个固定的高级相机系统,SIPLACE TX 现在也可以用作节省空间的线端机器。
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HELLER甲酸回流炉

HELLER Fluxless / Formic Reflow Oven  ·  FAR / VFAR 系列(无焊剂)
利用甲酸(HCOOH)替代标准助焊剂,消除了 Pre-reflow 涂覆助焊剂和 Post-reflow 焊后清洁步骤的需要,通常应用于功率器件和倒装芯片(Flip Chip)应用。支持真空功能的 VFAR 机型进一步将空洞率降低至 1% 以下,实现无焊剂、无空洞的高可靠性焊接。
咨询热线:13423754774

产品详情

甲酸回流工艺原理

甲酸回流炉的操作方式类似于普通回流炉,只是在关键的加热区(通常是 Soaking 保温区)注入甲酸蒸汽。在这里,甲酸在回流之前去除了金属表面的氧化物。通过甲酸气泡生成系统维持甲酸水平,并实时监测。任何回流曲线(例如 Tent 帐篷型或 Soak 保温型曲线)都可以与甲酸一起使用,并可提供与热回流温曲线相结合的可调节甲酸浓度曲线,集成实时甲酸浓度和 O₂ 监测系统,配备甲酸安全系统(传感器/检测器)以及用于绿色工艺解决方案的甲酸去除系统。

HELLER 甲酸(无焊剂)回流炉

VFAR 真空甲酸回流炉:真空 + 无焊剂

HELLER VFAR 是一款具有真空功能的水平无助焊剂甲酸回流炉,结合了真空回流和无助焊剂回流的所有优点,以实现较低的空洞率和较高的产品质量。设备符合所有 SEMI S2/S8 安全标准(包括涉及危险气体的标准)。甲酸工艺在回流之前有效消除金属表面氧化物,所有与助焊剂残留物相关的缺陷(包括空洞)都被消除,省去助焊剂残留和清洁步骤,节省工厂空间和运营成本。在 IGBT 和预制焊片应用中,空洞率检测结果可低至 0.7%、0.6%、0.3%、0.2% 等级。

专利 Formic Gate 系统与工艺结构

HELLER 的新型专利 Formic Gate 系统能够将工艺气体消耗率显著降低达 45%。Formic Gate 系统是在回流炉的入口和出口处设置的双重门:生产过程中,只有一个门会在产品进入或离开机器时打开,将工艺腔室与外界隔离,降低氮气和甲酸消耗。炉体结构依次为入口(出口)气闸、预热区、甲酸区、回流区与冷却区,入口气闸将炉内部与环境隔离开来;甲酸被注入保温区去除氧化层,温度被加热至焊料熔点以上完成回流。真空甲酸机型还配备 3 区红外加热(峰值 450℃)与 5 步真空控制系统,实现高效回流和无瑕斑结果。

规格参数(真空甲酸炉 VFAR 系列)

参数1809MK7-FAR1936MK7-FAR2043MK7-FAR
长度(mm)5,2506,4507,350
宽度(mm)2,1602,1602,160
高度(mm)1,6001,6001,600
重量(kg)3,5004,0004,500
电源输入208/240/380/400/415/440/480 VAC(50Hz/60Hz)
最大电流200Amp @ 208-240V;150Amp @ 380-480V
持续功率(kW)7-149-1513-20
冷却水供应压力(bar)3-4;流量 11-15 LPM
氮气供应压力(bar)6-8;工作压力 7 bar
典型氧气浓度(PPM)20-30
典型氮气消耗(SLPM)300-400
甲酸浓度≤12%
典型甲酸消耗(LPH)0.5-1
加热区91013
加热长度(mm)2,6003,6004,300
冷却区233
冷却长度(mm)1,0001,3001,300
最高温度(℃)350
温度控制精度(℃)±0.1
炉温切换时间(min)5-15
单轨道/网带(mm)100-450
双轨道-单轨模式(mm)100-240
双轨道-双轨模式(mm)100-170
最小 PCB 长度(mm)150,可选 120
PCB 方向L to R,R to L
真空腔加热3 区红外(IR)加热,峰值 450℃,5 步真空控制

* 特殊选项可根据要求提供;回流炉重量会根据实际炉的配置而有所不同;规格可能因产品改进或技术更新而与实际产品有所不同,请联系我们获取最新信息。

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利用甲酸(HCOOH)替代标准助焊剂,消除了 Pre-reflow 涂覆助焊剂和 Post-reflow 焊后清洁步骤的需要,通常应用于功率器件和倒装芯片(Flip Chip)应用。支持真空功能的 VFAR 机型进一步将空洞率降低至 1% 以下,实现无焊剂、无空洞的高可靠性焊接。
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甲酸回流炉的操作方式类似于普通回流炉,只是在关键的加热区(通常是 Soaking 保温区)注入甲酸蒸汽。在这里,甲酸在回流之前去除了金属表面的氧化物。通过甲酸气泡生成系统维持甲酸水平,并实时监测。任何回流曲线(例如 Tent 帐篷型或 Soak 保温型曲线)都可以与甲酸一起使用,并可提供与热回流温曲线相结合的可调节甲酸浓度曲线,集成实时甲酸浓度和 O₂ 监测系统,配备甲酸安全系统(传感器/检测器)以及用于绿色工艺解决方案的甲酸去除系统。

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HELLER VFAR 是一款具有真空功能的水平无助焊剂甲酸回流炉,结合了真空回流和无助焊剂回流的所有优点,以实现较低的空洞率和较高的产品质量。设备符合所有 SEMI S2/S8 安全标准(包括涉及危险气体的标准)。甲酸工艺在回流之前有效消除金属表面氧化物,所有与助焊剂残留物相关的缺陷(包括空洞)都被消除,省去助焊剂残留和清洁步骤,节省工厂空间和运营成本。在 IGBT 和预制焊片应用中,空洞率检测结果可低至 0.7%、0.6%、0.3%、0.2% 等级。

专利 Formic Gate 系统与工艺结构

HELLER 的新型专利 Formic Gate 系统能够将工艺气体消耗率显著降低达 45%。Formic Gate 系统是在回流炉的入口和出口处设置的双重门:生产过程中,只有一个门会在产品进入或离开机器时打开,将工艺腔室与外界隔离,降低氮气和甲酸消耗。炉体结构依次为入口(出口)气闸、预热区、甲酸区、回流区与冷却区,入口气闸将炉内部与环境隔离开来;甲酸被注入保温区去除氧化层,温度被加热至焊料熔点以上完成回流。真空甲酸机型还配备 3 区红外加热(峰值 450℃)与 5 步真空控制系统,实现高效回流和无瑕斑结果。

规格参数(真空甲酸炉 VFAR 系列)

参数1809MK7-FAR1936MK7-FAR2043MK7-FAR
长度(mm)5,2506,4507,350
宽度(mm)2,1602,1602,160
高度(mm)1,6001,6001,600
重量(kg)3,5004,0004,500
电源输入208/240/380/400/415/440/480 VAC(50Hz/60Hz)
最大电流200Amp @ 208-240V;150Amp @ 380-480V
持续功率(kW)7-149-1513-20
冷却水供应压力(bar)3-4;流量 11-15 LPM
氮气供应压力(bar)6-8;工作压力 7 bar
典型氧气浓度(PPM)20-30
典型氮气消耗(SLPM)300-400
甲酸浓度≤12%
典型甲酸消耗(LPH)0.5-1
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加热长度(mm)2,6003,6004,300
冷却区233
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最高温度(℃)350
温度控制精度(℃)±0.1
炉温切换时间(min)5-15
单轨道/网带(mm)100-450
双轨道-单轨模式(mm)100-240
双轨道-双轨模式(mm)100-170
最小 PCB 长度(mm)150,可选 120
PCB 方向L to R,R to L
真空腔加热3 区红外(IR)加热,峰值 450℃,5 步真空控制

* 特殊选项可根据要求提供;回流炉重量会根据实际炉的配置而有所不同;规格可能因产品改进或技术更新而与实际产品有所不同,请联系我们获取最新信息。

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